EnglishGermanItalianRussian

Установка водоподготовки для электроникиНашей компанией, предложена технологичная и относительно мало ресурсоемкая технология с использованием обратного осмоса, ультрафильтрации, нанофильтрации и ионного обмена. Система полностью защищена от микробиологических загрязнений, т.к. в системе предусмотрена постоянная рециркуляция очищенной воды, даже при отсутствии водоразбора. На выходе системы стоит стерилизующий ультрафильтрационный элемент,  предотвращающий попадание истертых частичек смолы и случайных примесей в линию подачи. Все нагнетательные и всасывающие трубопроводы, насосы и трубная арматура выполняются из ПП или ХПВХ. Управление системой автоматическое на основе пневмопривода и частотных регуляторов.

 

 

Технологическая схема водоподготовки особочистой воды в формате PDF.

Прайс-лист на системы получения особочистой воды.

Немного истории.

Во второй половине 70-х годов в электронной промышленности особую актуальность приобрела проблема получения особо чистых технологических сред.

В технологии производства больших интегральных схем (БИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС) более 30% из всех операций составляет отмывка поверхностей формируемых структур особо чистой водой.

К рассматриваемому периоду времени средний выход годных изделий (БИС и СБИС) в нашей стране составлял менее 10%, и даже в таких развитых странах как США и Япония не превышал 60%. Обобщение опыта производства (БИС и СБИС) со всей очевидностью свидетельствовало о доминирующей роли степени чистоты используемой в технологическом процессе деионизованной воды.

Марки особо чистой воды.

В процессах производства изделий электронной техники применяется деионизованная вода трех марок разной степени чистоты:

марки В — вода, получаемая из исходной, путем предварительной подготовки и деионизации на установках централизованной очистки воды;

марки Б — вода, получаемая из воды марки В, путем финишной деионизации и очистки от частиц размером более 0,2 мкм;

марки А — вода, высшей степени чистоты, получаемая из воды марки Б, путем финишной деионизации с применением систем стерилизации, микрофильтрации, ультрафильтрации и обратного осмоса.

Требования к деионизованной воде должны соответствовать значением, приведенным в таблице

Параметры воды

Марка воды

ВБА
Удельное сопротивление при t=20±2 ºC, МОм·см, не менее51718
Содержание органических веществ — перманганатная окисляемость в пересчете на O2, мг/л, не более1,00,60,2
Содержание кремниевой кислоты в пересчете на SiO32-, мг/л, не более0,050,010,01
Содержание железа, мг/л, не более0,010,0050,002
Содержание меди, мг/л, не более0,0030,0020,002
Содержание микрочастиц, шт./мл60520121
Содержание микроорганизмов, колоний/мл1021

 

Принципиально подготовка воды класса А, была решена в 80е годы, прошлого века:

подготовка особочистой воды марки А

 

1 — клапан соленоидный;

2 — насосная станция из 2 насосов;

3, 4 – фильтр обезжелезивающий;

5, 6 – фильтр-дехлоратор;

7, 8 – микрофильтр мультикартриджный;

9 – установка УФ-дезинфекции в комплекте с дозатором реагента;

10, 11 – установка обратного осмоса;

12,13 – фильтр катионитовый;

15, 16 – фильтр анионитовый;

14, 17 – систаема приготовления и подачи реагентов;

18 – емкость с воздушным фильтром;

19 – насосная станция из 2 насосов;

20 – установка электродеионизации;

21 – фильтр смешанного действия (ФСД) косметический;

22, 27 – установка УФ-дезинфекции;

23 – емкость с воздушным фильтром;

24 — насосная станция из 2 насосов;

25 – теплообменник пластинчатый;

26 – мембранный дегазатор;

28, 29 – ФСД полировочный;

30 – МА с картриджами 0,45 мкм;

31 – стерилизующий фильтр с картриджами 0,2 мкм;

32 – анализатор общего углерода4

33 – анализатор микрочастиц;

34 – анализатор кремния;

35, 36 – локальная система финишной очистки воды.